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标题
Passivation mechanism of the high-performance titanium oxide carrier-selective contacts on crystalline silicon studied by spectroscopic ellipsometry
椭圆偏振光谱研究晶体硅上高性能氧化钛载体选择性触点的钝化机理
相关领域
钝化 退火（玻璃） 材料科学 原子层沉积 椭圆偏振法 硅 钛 氧化物 氧化硅 电介质 分析化学（期刊） 氧化钛 化学工程 晶体硅 薄膜 纳米技术 图层（电子） 光电子学 冶金 化学 氮化硅 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/abd6dd
DOI
10.35848/1347-4065/abd6dd doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Kazuhiro Gotoh; Hiroyuki Miura; Ayako Shimizu; Yasuyoshi Kurokawa; Noritaka Usami
出版日期：2020-12-25
求助人
Wxyz 在 2025-08-20 13:36:09 发布，悬赏 10 积分
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