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 High-Quality AlN Film Grown on Sputtered AlN/Sapphire via Growth-Mode Modification 生长模式改性在溅射AlN/蓝宝石上生长高质量AlN薄膜
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期刊：Crystal Growth & Design 作者：He Chenguang; Wei Zhao; Wu Hualong; Shan Zhang; Zhang Kang; et al 出版日期：2018-10-18 |
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