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  Absolute EUV reflectivity measurements using a broadband high-harmonic source and an in situ single exposure reference scheme 使用宽带高次调和源和现场单次曝光参考方案进行绝对极紫外反射率测量
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期刊：Optics Express 作者：Johann J. Abel; Felix Wiesner; Jan Nathanael; Julius Reinhard; Martin Wünsche; et al 出版日期：2022-08-03 |
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