Monolithic Integrated CMOS-MEMS Pressure Sensor with Piezoresistors Fabricated by Combinations of P-type Ion Implantation in the Standard CMOS Process - 科研通

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标题	Monolithic Integrated CMOS-MEMS Pressure Sensor with Piezoresistors Fabricated by Combinations of P-type Ion Implantation in the Standard CMOS Process
网址	https://doi.org/10.1109/MEMS61431.2025.10918053
DOI	10.1109/MEMS61431.2025.10918053 doi
其它	期刊：2025 IEEE 38th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Fengyang Li; Zhiheng Yu; Changyuan Mai; Jiawei Zhou; Shiyang Yuan; et al 出版日期：2025
求助人	重要衬衫在 2026-03-06 18:39:22 发布自北京，悬赏 10 积分
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