CMOS compatible thermal tunable planar silicon etched diffraction gratings

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标题	CMOS compatible thermal tunable planar silicon etched diffraction gratings
网址	https://doi.org/10.1117/12.2266336
DOI	10.1117/12.2266336 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Jun Li; Chao Qiu; Xin Chen; Zhen Sheng; Aimin Wu; Fuwan Gan 出版日期：2017-01-05
求助人	yyyyy 在 2026-03-19 22:31:07 发布自山东，悬赏 20 积分
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