Development of biased directional sputtering (BDS) for barrier metal formation

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标题	Development of biased directional sputtering (BDS) for barrier metal formation
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X0...
DOI	10.1016/s0042-207x(00)00299-2 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：H Sato; M Sato; M Tagami; K Funato; M Sasaki; et al 出版日期：2002-07-25
求助人	LXG666 在 2026-03-09 18:41:16 发布自湖南，悬赏 10 积分
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