Nanomechanical Characterization and Metrology for Low-k and ULK Materials

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标题	Nanomechanical Characterization and Metrology for Low-k and ULK Materials
网址	https://doi.org/10.1063/1.3657898
DOI	10.1063/1.3657898 doi
其它	期刊：AIP Conference Proceedings 作者：Ude D. Hangen; Kong-Boon Yeap; David Vodnick; Ehrenfried Zschech; Han Li; et al 出版日期：2011-11-16
求助人	朴素的草莓在 2026-05-19 18:24:57 发布自北京，悬赏 10 积分
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