发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Molecular contamination control technologies for high volume production in high NA 193-nm lithography (phase II)
相关领域
材料科学 吸附 薄脆饼 污染 化学工程 平版印刷术 活性炭 纳米技术 光电子学 化学 有机化学 生态学 生物 工程类
网址
https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI
10.1117/12.771905 doi
其它 期刊：SPIE Advanced Lithography
作者：Toshiro Nakano; T. Tanahashi; A. Imai; K. Yamana; T. Shimotsu
出版日期：2008-03-14
求助人
rhona 在 2026-10-27 10:04:05 发布自上海，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Adsorption and reaction behavior for the simultaneous adsorption of NO–NO2 and SO2 on activated car...
  2. Skin Contamination by Radioactive Isotopes, (I)
  3. The study of Zn~(2+) and Cd~(2+) adsorption on activated carbon modified with KMnO_4
  4. Removal of COS from N_2 by adsorption on PEI/SBA-15
  5. Study Status and Prospect of Natural Contamination Component on Insulator Surface
  6. Preparation of Ceramsite Based on Clay and Its Static Adsorption Study for Cd~(2+)
  7. [Adsorption properties of dye compounds on the sediments in Qinghe].
  8. Adsorption of methylene blue and bright blue dyes on bayleaf capertree pods powder: Understanding th...
  9. Skin Contamination by Radioactive Isotopes, (II)
  10. Preparation of corn stalk adsorbent and its adsorption performance for Pb2+ in aqueous solution
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 12.771905.pdf (517.78 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:04:08 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:04:06 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    10:04:05 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    rhona rhona Lv11 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
大眼猫发布了新的文献求助20
刚刚
大眼猫发布了新的文献求助10
1秒前
1111111完成签到，获得积分10
1秒前
科研通AI2S的应助被舒心友琴采纳，获得10
1秒前
1秒前
Japrin完成签到，获得积分10
1秒前
1秒前
DO11E完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
桵_发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
科研通AI6.4的应助被周七七采纳，获得10
3秒前
3秒前
ddssa1988发布了新的文献求助10
3秒前
愤怒的苗条完成签到 ，获得积分10
3秒前
3秒前
顾矜的应助被芬达采纳，获得10
3秒前
xyzhang发布了新的文献求助10
4秒前
小二郎的应助被bjxiaoLa采纳，获得10
4秒前
llyuyutt发布了新的文献求助10
4秒前
大眼猫发布了新的文献求助10
4秒前
YXX发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
大眼猫发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
大眼猫发布了新的文献求助10
5秒前
大眼猫发布了新的文献求助30
5秒前
大眼猫发布了新的文献求助10
6秒前
迅速的不正完成签到，获得积分10
6秒前
Clarissa发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
6秒前
图图完成签到 ，获得积分10
7秒前
紫云发布了新的文献求助10
7秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得30
7秒前
Lucas的应助被张文采纳，获得10
7秒前
aaaa的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
7秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Les Mantodea De Guyane 2000
Narrative Disclosure and Earnings Performance: Evidence from R&D Disclosures 1050
内視鏡下経鼻経蝶形骨洞手術術後SIADHに対する予防的水制限の安全性と有効性の検討 1000
Positive Psychology 600
Problems and Solutions for Integer and Combinatorial Optimization: Building Skills in Discrete Optimization 600
Organizational Behavior 510
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 8006057
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9456908
关于积分的说明 21163598
捐赠科研通 7578758
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3382239
关于科研通互助平台的介绍 2514943
邀请新用户注册赠送积分活动 2417157
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通