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标题
Comparison of Erosion Behavior and Particle Contamination in Mass-Production CF4/O2 Plasma Chambers Using Y2O3 and YF3 Protective Coatings
网址
http://dx.doi.org/10.3390/nano7070183
DOI
10.3390/nano7070183 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：Tzu-Ken Lin; Wei-Kai Wang; Shih-Yung Huang; Chi-Tsung Tasi; Dong-Sing Wuu
出版日期：2017-07-14
求助人
zhai957 在 2026-10-27 11:37:18 发布自广东，悬赏 10 积分
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    脑洞疼 脑洞疼 Lv11 上传了文件

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  • 19小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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  • 19小时前

    zhai957 zhai957 Lv2 求助人 发起了本次求助

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