| 标题 |
Etch proximity correction for dense array patterns |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.2610743
doi
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| 其它 |
期刊: 作者:Jian Wang; Sai-Nan Yao; Yingchun Zhang 出版日期:2022-05-26 |
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(2025-6-4)