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 Charge balance effect on the phase stability and reliability in doped HfO2-ZrO2 superlattice films for further DRAM capacitors: A first-principles study 相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Ting Zhang; Maokun Wu; Miaojia Yuan; Yichen Wen; Yilin Hu; et al 出版日期：2025-03-01 |
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