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The influence of substrate morphology on the growth of thin silicon films: A GISAXS study 相关领域
材料科学
无定形固体
薄膜
掠入射小角散射
硅烷
分析化学(期刊)
硅
等离子体增强化学气相沉积
基质(水族馆)
纳米晶硅
Crystal(编程语言)
非晶硅
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结晶学
晶体硅
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光学
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化学
复合材料
光电子学
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海洋学
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期刊:Thin Solid Films 作者:D. Gracin; S. Bernstorff; P. Dubcek; A. Gajovic; K. Juraic 出版日期:2007-01-17 |
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