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标题
On-line detection of additive concentrations in acidic copper plating solution for metal interconnection by an electrochemical microfluidic workstation
电化学微流控工作站在线检测金属互连用酸性铜溶液中添加剂浓度
相关领域
互连 电镀(地质) 电化学 微流控 工作站 金属 直线(几何图形) 材料科学 化学 纳米技术 冶金 计算机科学 电极 操作系统 电信 数学 物理 几何学 物理化学 地球物理学
网址
DOI
10.1039/d5im00073d doi
其它 期刊:
作者:Yi Zhao; Juxing Zeng; Jiaqiang Yang; Tao Song; Hu Ren; et al
出版日期:2025-01-01
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