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 A study of thermal etching of GaN by atmospheric argon inductively coupled plasma 常压氩电感耦合等离子体热刻蚀GaN的研究
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期刊：Thermochimica Acta 作者：Linfeng Zhang; Yongjie Zhang; Bing Wu; Hui Deng 出版日期：2023-03-22 |
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