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标题
Effect of nitrogen flow ratio on the structure and optical properties of AlN film
氮气流量比对AlN薄膜结构和光学性能的影响
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112829
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.112829 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Xu Jiang; Yanxia Wu; Jiawei Qi; Ying Liu; Yongsheng Wang; et al
出版日期：2023-11-27
求助人
zhangxp 在 2025-12-03 20:55:56 发布自河南，悬赏 10 积分
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