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标题
Selective functionalization of silicon nitride with a water-soluble etch-resistant polymer
用水溶性耐蚀刻聚合物选择性官能化氮化硅
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2023.112001
DOI
10.1016/j.mee.2023.112001 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：K. Mochida; Tsubasa Miki; Tadashi Teranishi
出版日期：2023-04-14
求助人
淡然的念珍 在 2025-12-17 02:45:48 发布自美国，悬赏 10 积分
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