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Selective functionalization of silicon nitride with a water-soluble etch-resistant polymer

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作者
K. Mochida,Tsubasa Miki,Tadashi Teranishi
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2023-04-14 卷期号：276: 112001-112001 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.mee.2023.112001
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