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标题
Virtual metrology for chemical mechanical planarization of semiconductor wafers
半导体晶片化学机械平坦化的虚拟计量
相关领域
化学机械平面化 薄脆饼 计量学 材料科学 半导体器件制造 半导体 半导体工业 半导体器件 光电子学 抛光 工程物理 纳米技术 制造工程 工程类 冶金 光学 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1007/s10845-024-02335-0
DOI
10.1007/s10845-024-02335-0 doi
其它 期刊：Journal of Intelligent Manufacturing
作者：Balamurugan Deivendran; Vishnu Swaroopji Masampally; Naga Ravikumar Varma Nadimpalli; Venkataramana Runkana
出版日期：2024-03-13
求助人
karma777 在 2025-12-27 16:39:44 发布自吉林，悬赏 10 积分
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