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[高分]
 Silicon carbide on insulator formation using the Smart Cut process 使用智能切割工艺在绝缘体上形成碳化硅
相关领域
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材料科学
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期刊：Electronics Letters 作者：L. Di Cioccio; Y. Le Tiec; F. Letertre; C. Jaussaud; M. Bruel 出版日期：1996-06-06 |
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