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 Rapid full-chip curvilinear OPC for advanced logic and memory 用于高级逻辑和存储器的快速全芯片曲线OPC
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期刊： 作者：Vlad Liubich; Keisuke Mizuuchi; Alexander Tritchkov; Ashutosh Rathi; Xima Zhang; et al 出版日期：2021-10-01 |
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