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 Effect of thickness scaling on the permeability and thermal stability of Ta(N) diffusion barrier 厚度标度对Ta(N)扩散势垒磁导率和热稳定性的影响
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期刊：Applied Surface Science 作者：Haoyu Xu; Zhengjun Hu; Xin-Ping Qu; Hao Wan; Shen-Suo Yan; et al 出版日期：2019-09-05 |
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