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 The Generation Mechanism of Tracking Error During Acceleration or Deceleration Phase in Ultraprecision Motion Systems 超精密运动系统加减速阶段跟踪误差的产生机理
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期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者：Luyao Dai; Xin Li; Yu Zhu; Ming Zhang; Chuxiong Hu 出版日期：2018-10-31 |
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