Multi-trigger resist patterning with ASML NXE3300 EUV scanner

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标题	Multi-trigger resist patterning with ASML NXE3300 EUV scanner 相关领域抵抗极紫外光刻平版印刷术材料科学扫描仪干涉光刻极端紫外线光学表面光洁度纳米技术光电子学复合材料物理激光器图层（电子）制作病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297402
DOI	10.1117/12.2297402 doi
其它	期刊：作者：Alex P. G. Robinson; Yannick Vesters; Alexandra McClelland; Carmen Popescu; Guy Dawson; et al 出版日期：2018-03-19
求助人	酷炫念柏在 2025-10-25 17:15:54 发布自上海，悬赏 20 积分
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