Optimizing amorphous indium zinc oxide film growth for low residual stress and high electrical conductivity

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标题	Optimizing amorphous indium zinc oxide film growth for low residual stress and high electrical conductivity 低残余应力高电导率非晶氧化铟锌薄膜生长的优化相关领域残余应力材料科学无定形固体电阻率和电导率电导率外推法压力（语言学）溅射沉积薄膜复合材料导电体溅射纳米技术化学电气工程数学语言学工程类数学分析哲学物理化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.06.019
DOI	10.1016/j.apsusc.2013.06.019 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Mukesh Kumar; Ajaya K. Sigdel; Thomas Gennett; Joseph J. Berry; John D. Perkins; et al 出版日期：2013-06-14
求助人	君子扑火在 2025-09-30 10:53:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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