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Optimizing amorphous indium zinc oxide film growth for low residual stress and high electrical conductivity

残余应力 材料科学 无定形固体 电阻率和电导率 电导率 外推法 压力（语言学） 溅射沉积 薄膜 复合材料 导电体 溅射 纳米技术 化学 电气工程 数学 语言学 工程类 数学分析 哲学 物理化学 有机化学
作者
Mukesh Kumar,Ajaya K. Sigdel,Thomas Gennett,Joseph J. Berry,John D. Perkins,David S. Ginley,Corinne E. Packard
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2013-06-14 卷期号：283: 65-73 被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2013.06.019
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