Comparison of H2O2 and H2O oxidations on TDMAT absorbed on silicon(100) surface during reaction step of ALD–TiO2 process: A DFT study - 科研通

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标题	Comparison of H2O2 and H2O oxidations on TDMAT absorbed on silicon(100) surface during reaction step of ALD–TiO2 process: A DFT study
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2024.108125
DOI	10.1016/j.mtcomm.2024.108125 doi
其它	期刊：Materials Today Communications 作者：Tanabat Promjun; Montri Phothisonothai; Worasitti Sriboon; Saksit Sukprasong; P. Pungboon Pansila 出版日期：2024
求助人	指沙在 2026-01-30 16:15:23 发布自浙江，悬赏 10 积分
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