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 Effect of Poly‐Crystallinity on the Magnetoelectric Behavior of TiN/AlN/Ni MEMS Cantilevers Investigated by Finite Element Methods 多晶性对TiN/AlN/Ni微机电悬臂梁磁电行为的有限元研究
相关领域
材料科学
微晶
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镍
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期刊：physica status solidi (a) 作者：Bernd Hähnlein; Hauke Honig; Peter Schaaf; Stefan Krischok; Katja Tonisch 出版日期：2023-01-14 |
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