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 Investigation of cu-BTA complex formation during Cu chemical mechanical planarization process 铜化学机械平坦化过程中cu-BTA络合物形成的研究
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化学机械平面化
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期刊：Applied Surface Science 作者：Byoung-Jun Cho; Shohei Shima; Satomi Hamada; Jin-Goo Park 出版日期：2016-10-30 |
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