Chemical vapour deposition

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标题	Chemical vapour deposition 化学气相沉积相关领域化学气相沉积薄膜材料科学纳米技术表征（材料科学）石墨烯沉积（地质）基质（水族馆）燃烧化学气相沉积碳膜沉积物生物海洋学地质学古生物学
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s43586-020-00005-y AI链接 handle.net mit.edudoi.org
DOI	10.1038/s43586-020-00005-y doi
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