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 Hybrid simulation of a dc-enhanced radio-frequency capacitive discharge in hydrogen 氢气中直流增强射频电容放电的混合模拟
相关领域
原子物理学
等离子体
偏压
离子
电子
直流偏压
电压
无线电频率
材料科学
氢
化学
物理
电气工程
量子力学
工程类
有机化学
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：P. Diomede; S. Longo; Demetre J. Economou; M. Capitelli 出版日期：2012-04-11 |
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