发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
In-situ PECVD-based stoichiometric SiO2 layer for semiconductor devices
用于半导体器件的原位PECVD化学计量SiO2层
相关领域
钝化 等离子体增强化学气相沉积 化学计量学 硅烷 半导体 化学气相沉积 图层（电子） 材料科学 氩 薄脆饼 光电子学 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 化学 硅 复合材料 物理化学 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.optmat.2023.113536
DOI
10.1016/j.optmat.2023.113536 doi
其它 期刊：Optical Materials
作者：Duy Phong Pham; Hongrae Kim; Ji Won Choi; Donghyun Oh; Yung-Bin Chung; et al
出版日期：2023-02-01
求助人
迅速的山河 在 2025-06-12 14:36:27 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Influence of the Deposition Temperature on the c-Si Surface Passivation by Al[sub 2]O[sub 3] Films S...
  2. Improving the Leakage Characteristics and Efficiency of GaN-based Micro-Light-Emitting Diode with Op...
  3. Defect passivation in multicrystalline-Si materials by plasma-enhanced chemical vapor deposition of ...
  4. Fabrication and properties of silicon-nitride films deposited by using PECVD with a tris(dimethylami...
  5. Sulfur passivation of 3C-SiC thin film
  6. Simulation of gas phase reactions for microcrystalline silicon films fabricated by PECVD
  7. Development of High Performance Chromium-Free Passivation Agent Suitable for Coating of Aluminum All...
  8. Synergistic Surface Modification of Aluminum by Silane and Corrosion Inhibitor
  9. Microcrystalline Si films deposited from dichlorosilane using RF-PECVD
  10. VHF-PECVD OF Ti/TiN WITH SILANE REDUCTION PROCESS
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1天前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 1-s2.0-S0925346723001088-main.pdf (5.64 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    14:36:31 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    14:36:29 科研通AI机器人（日本 东京）收到请求，开始寻找文献
    14:36:27 已向机器人发送请求

  • 1天前

    迅速的山河 迅速的山河 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
占曼荷发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
lelele发布了新的文献求助10
2秒前
优美的风完成签到，获得积分10
2秒前
笨笨的可兰完成签到，获得积分20
3秒前
OSFP完成签到，获得积分10
3秒前
zhengzehong完成签到，获得积分10
3秒前
开心香岚发布了新的文献求助10
4秒前
yuebaoji发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
小达发布了新的文献求助10
5秒前
柯飞扬发布了新的文献求助10
5秒前
黎小乐子完成签到，获得积分20
5秒前
wsf2023发布了新的文献求助30
5秒前
6秒前
会撒娇的彤的应助被zcx采纳，获得10
6秒前
6秒前
7秒前
赘婿的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
orixero的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
CodeCraft的应助被zz采纳，获得10
7秒前
脑洞疼的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
田様的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
艾欧比完成签到，获得积分10
7秒前
共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
鸣笛的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
脑洞疼的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
大静的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
coolkid的应助被科研通管家采纳，获得20
8秒前
CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
ED的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
英姑的应助被Wang Mu采纳，获得10
8秒前
FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
情怀的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
鸣笛的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
8秒前
鸣笛的应助被科研通管家采纳，获得20
8秒前
高分求助中
Electron microscopy study of magnesium hydride (MgH2) for Hydrogen Storage 1000
Machine Learning in Chemistry The Impact of Artificial Intelligence 500
生物降解型栓塞微球市场（按产品类型、应用和最终用户）- 2030 年全球预测 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
Quantum Computing for Quantum Chemistry 500
Thermal Expansion of Solids (CINDAS Data Series on Material Properties, v. I-4) 470
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3898984
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3443504
关于积分的说明 10830597
捐赠科研通 3168204
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1750478
邀请新用户注册赠送积分活动 846053
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 789029
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通