Optimization of diode pumped solid state ultraviolet laser dicing of silicon carbide chips using design of experiment methodology

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标题	Optimization of diode pumped solid state ultraviolet laser dicing of silicon carbide chips using design of experiment methodology 利用实验设计方法优化二极管泵浦固体紫外激光切割碳化硅芯片相关领域晶片切割材料科学薄脆饼激光器表面微加工碳化硅光电子学光学激光加工纳秒激光烧蚀硅制作复合材料病理替代医学物理医学激光束
网址	https://doi.org/10.2351/1.4919886
DOI	10.2351/1.4919886 doi
其它	期刊：Journal of Laser Applications 作者：Guillaume Savriama; Francis Baillet; Laurent Barreau; Chantal Boulmer-Leborgne; Nadjib Semmar 出版日期：2015-05-11
求助人	Xuuuuuuu 在 2024-08-16 21:03:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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