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 An experimental and computational study on the ignition process of a pulse modulated dual-RF capacitively coupled plasma operated at various low-frequency voltage amplitudes 不同低频电压下脉冲调制双射频电容耦合等离子体点火过程的实验与计算研究
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：De-Hua Shi; Xiao-Kun Wang; Yong-Xin Liu; Zoltán Donkó; Julian Schulze; et al 出版日期：2024-02-02 |
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