The affinity of Si-N and Si-C bonding in amorphous silicon carbon nitride (a-SiCN) thin film

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标题	The affinity of Si-N and Si-C bonding in amorphous silicon carbon nitride (a-SiCN) thin film
网址	http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/95586/1/05.pdf
DOI	10.1016/j.diamond.2004.10.045 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：C. W. Chen; Chu-Chun Huang; Yu-Syuan Lin; Lin-Chi Chen; Ku-Ting Chen 出版日期：2005-03-01
求助人	石本松在 2026-08-23 16:16:22 发布自河北，悬赏 10 积分
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Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America (PNAS)

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