Study of the thermal oxidation of sputtered multi-layered TiN/Cu/TiN films

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标题	Study of the thermal oxidation of sputtered multi-layered TiN/Cu/TiN films 相关领域锡材料科学热氧化冶金热的物理热力学硅
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mtnano.2025.100577
DOI	10.1016/j.mtnano.2025.100577 doi
求助人	dali 在 2026-08-19 09:25:11 发布自美国，悬赏 10 积分
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