Area-selective deposition of dielectric film by surface passivation for bottom-up nanopatterning fabrication

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标题	Area-selective deposition of dielectric film by surface passivation for bottom-up nanopatterning fabrication
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/ae6d06
DOI	10.35848/1347-4065/ae6d06 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shinichi Ike; Yumiko Kawano; Genki Hayashi; Shuji Azumo; Yusaku Kashiwagi; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	ADChem_JH 在 2026-07-17 07:37:39 发布自安徽，悬赏 10 积分
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