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 Consideration for application of NTD from OPC and simulation perspective 从OPC和仿真的角度考虑NTD的应用
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Mi-Hye Kim; James Moon; Byoung-Sub Nam; Se‐Young Oh; Hyunjo Yang; et al 出版日期：2012-02-20 |
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