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标题
Consideration for application of NTD from OPC and simulation perspective
从OPC和仿真的角度考虑NTD的应用
相关领域
极紫外光刻 光学接近校正 光刻 浸没式光刻 平版印刷术 计算机科学 半导体器件制造 过程（计算） 进程窗口 多重图案 材料科学 纳米技术 光电子学 抵抗 图层（电子） 薄脆饼 操作系统
网址
https://doi.org/10.1117/12.916137
DOI
10.1117/12.916137 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Mi-Hye Kim; James Moon; Byoung-Sub Nam; Se‐Young Oh; Hyunjo Yang; et al
出版日期：2012-02-20
求助人
踏实的半雪 在 2025-11-13 07:21:09 发布自中国，悬赏 20 积分
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