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 Polyimide moth-eye nanostructures formed by oxygen ion beam etching for anti-reflection layers 氧离子束刻蚀制备聚酰亚胺蛾眼纳米结构用于抗反射层
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Takao Okabe; Tomoya Yano; Katsuyuki Yatagawa; Jun Taniguchi 出版日期：2021-04-01 |
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