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 A process of glassy carbon etching without the micro masking effect for the fabrication of a mold with a high-quality surface 一种用于制造具有高质量表面的模具的无微掩模效应的玻璃碳蚀刻工艺
相关领域
材料科学
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Sung-Won Youn; Akihisa Ueno; Masaharu Takahashi; Ryutaro Maeda 出版日期：2009-10-22 |
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