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 Dry etching and low-temperature direct bonding process of lithium niobate wafer for fabricating micro/nano channel device 相关领域
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期刊： 作者：Toshiyuki Tsuchiya; Koji Sugano; Hideki Takahashi; Hangyeol Seo; Yuriy Pihosh; et al 出版日期：2017-06-01 |
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