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Electronic structure and mechanical properties of hard coatings from the chromium–tungsten nitride system 铬-氮化钨体系硬质涂层的电子结构和力学性能
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者:P. Hones; Matthieu Diserens; R. Sanjinés; F. Lévy 出版日期:2000-11-01 |
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