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标题
Angstrom-accuracy multilayer thickness determination using optical metrology and machine learning
网址
https://doi.org/10.1117/12.2592216
DOI
10.1117/12.2592216 doi
其它 期刊：Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XII
作者：HyunSoo Kwak; Sungyoon Ryu; Suil Cho; Junmo Kim; Yusin Yang; et al
出版日期：2021
求助人
btb 在 2026-01-21 17:40:44 发布自湖北，悬赏 20 积分
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