Ultra-sensitive silicon temperature sensor based on cascaded Mach–Zehnder interferometers

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标题	Ultra-sensitive silicon temperature sensor based on cascaded Mach–Zehnder interferometers 相关领域天文干涉仪绝缘体上的硅硅材料科学干涉测量光学马赫-曾德尔干涉仪灵敏度（控制系统）平版印刷术电子束光刻自由光谱范围光电子学物理抵抗纳米技术电子工程谐振器图层（电子）工程类
网址	https://doi.org/10.1364/ol.426787
DOI	10.1364/ol.426787 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：Zuoqin Ding; Daoxin Dai; Yaocheng Shi 出版日期：2021-05-14
求助人	攸宁在 2026-01-12 15:01:58 发布自安徽，悬赏 10 积分
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