Multi-Trigger Resist for EUV lithography

已完结

文献求助详情

标题	[高分] Multi-Trigger Resist for EUV lithography
网址	https://www.jstage.jst.go.jp/article/photopolymer/36/5/36_35...
DOI	10.2494/photopolymer.36.353 doi
其它	期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：C. Popescu; G. O'Callaghan; C. Storey; A. McClelland; J. Roth; et al 出版日期：2024-04-20
求助人	青红造了个白在 2026-02-28 10:56:12 发布自广东，悬赏 150 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 蜉蝣发布了新的文献求助10

刚刚; 小蘑菇的应助被阳阳采纳，获得10

1秒前; XC上传了应助文件

2秒前; 傻傻的哈密瓜发布了新的文献求助10

2秒前; 现实的思雁完成签到，获得积分10

3秒前; 淡然的舞仙完成签到，获得积分10

4秒前; 无花果上传了应助文件

4秒前; miss张发布了新的文献求助10

7秒前; 李健的小迷弟的应助被丸子采纳，获得10

8秒前; 灵巧的手机完成签到，获得积分0

8秒前; 肚皮完成签到，获得积分10

8秒前; 谦让的西装发布了新的文献求助10

9秒前; 嘉心糖上传了应助文件

9秒前; 爆米花的应助被迷你的笑白采纳，获得10

9秒前; 刘明完成签到，获得积分10

10秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

12秒前; 随遇而安的应助被saki采纳，获得10

13秒前; qqqqqqqqq完成签到，获得积分10

13秒前; FashionBoy上传了应助文件

15秒前; 隐形曼青的应助被atbb采纳，获得10

15秒前; 科研通AI2S的应助被M二十四采纳，获得10

18秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

18秒前; 谦行鹏路完成签到，获得积分10

18秒前; 再学一分钟完成签到，获得积分10

19秒前; 小马甲上传了应助文件

19秒前; 贪玩的秋柔上传了应助文件

19秒前; 机灵采萱完成签到，获得积分10

19秒前; 爆米花上传了应助文件

20秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

20秒前; Youy发布了新的文献求助10

21秒前; 研友_O8W2PZ发布了新的文献求助10

22秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

24秒前; 无花果上传了应助文件

24秒前; breeze发布了新的文献求助10

25秒前; 香蕉觅云的应助被koi采纳，获得10

26秒前; zzz发布了新的文献求助30

26秒前; 领导范儿上传了应助文件

27秒前; 迷你的笑白发布了新的文献求助10

27秒前; CodeCraft上传了应助文件

27秒前; zqhyar完成签到，获得积分10

27秒前