Epitaxy of single-crystalline GaN films on novel Ca3Ta(Ga0.5Al0.5)3Si2O14 substrates by metal-organic chemical vapor deposition - 科研通

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标题	Epitaxy of single-crystalline GaN films on novel Ca3Ta(Ga0.5Al0.5)3Si2O14 substrates by metal-organic chemical vapor deposition 金属有机化学气相沉积在新型Ca3Ta(Ga0.5Al 0.5)3Si2O14衬底上外延GaN单晶薄膜相关领域金属有机气相外延外延化学气相沉积材料科学电子背散射衍射光电子学透射电子显微镜单晶薄膜电子衍射基质（水族馆）衍射结晶学纳米技术化学光学复合材料微观结构图层（电子）地质学物理海洋学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111600
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111600 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Shuai Wang; Kainan Xiong; Sheng Wang; Yanqing Zheng; Xiaoniu Tu; et al 出版日期：2022-10-14
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