Improving grating duty cycle uniformity: amplitude-splitting flat-top beam laser interference lithography

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标题	Improving grating duty cycle uniformity: amplitude-splitting flat-top beam laser interference lithography
网址	https://doi.org/10.1364/ao.513766
DOI	10.1364/ao.513766 doi
其它	期刊：Appl Opt 作者：Xue D, Deng X, Dun X, Wang J, Wang Z, Cheng X 出版日期：2024-03-01
求助人	lll 在 2026-08-12 16:19:39 发布自中国，悬赏 10 积分
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