Study on Optical and Mechanical Properties of SiOxNy Films

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标题	Study on Optical and Mechanical Properties of SiOxNy Films
网址	https://www.mdpi.com/2079-6412/16/3/360/pdf
DOI	10.3390/coatings16030360 doi
其它	期刊：Coatings 作者：Boyang Wei; Zhiying Liu; Xiuhua Fu; Ben Wang; Suotao Dong 出版日期：2026-03-13
求助人	杨小小在 2026-08-27 10:47:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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