Improvement of etching and cleaning methods for integration of raised source and drain in FD-SOI technologies

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标题	Improvement of etching and cleaning methods for integration of raised source and drain in FD-SOI technologies
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.009
DOI	10.1016/j.mee.2017.04.009 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：M. Labrot; F. Cheynis; D. Barge; P. Maury; M. Juhel; et al 出版日期：2017-08-01
求助人	坦率灵槐在 2026-07-07 20:02:43 发布自福建，悬赏 10 积分
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