A review of out-of-plane structural designs and performance enhancement strategies for MEMS Z-axis capacitive accelerometers

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标题	A review of out-of-plane structural designs and performance enhancement strategies for MEMS Z-axis capacitive accelerometers
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2025.110401
DOI	10.1016/j.mssp.2025.110401 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Wei Liu; Shu Yang; Chunyan Yin; Guangbin Dou 出版日期：2026-05-01
求助人	Sid 在 2026-07-07 14:31:43 发布自上海，悬赏 10 积分
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