Three-dimensional simulation research on plasma uniformity engineering: diamond film uniformity regulation based on resonant cavity structural resonance design

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标题	Three-dimensional simulation research on plasma uniformity engineering: diamond film uniformity regulation based on resonant cavity structural resonance design
网址	https://doi.org/10.1016/j.jsamd.2026.101108
DOI	10.1016/j.jsamd.2026.101108 doi
其它	期刊：Journal of Science: Advanced Materials and Devices 作者：Zhijian Guo; Zhiliang Yang; Yuchen Liu; Liangxian Chen; Jinlong Liu; et al 出版日期：2026
求助人	保持好奇在 2026-05-06 17:01:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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